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感应加热CVD化学气相沉积炉

感应加热CVD化学气相沉积炉

  • 所属分类:感应加热设备
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  • 发布时间:2022-02-24 22:14:45
  • 产品概述

感应加热CVD化学气相沉积炉

感应加热CVD化学气相沉积炉


CVD化学气相沉积炉是制备C/C复合材料的关键技术装备。

感应加热CVD化学气相沉积炉设备采用中频感应加热,设备采用立式,炉底升降进出料结构。温控系统选用日本岛电(或同档次一线品牌)智能程序控温仪控温,全套设备包含炉体、中频电源、电控系统、气体控制系统、水冷系统等组成。


感应加热CVD化学气相沉积炉

1) 炉型结构:立式圆筒形,炉底升降装出料。

2) 加热方式:中频感应加热

3) 工作温度:2200℃;

4) 常用温度:850~1150℃;

5) 炉温均匀性:900±25℃,1100±12.5℃

6) 控温方式:智能温控仪表(日本岛点FP23或同等品牌仪表)程序自动控温和手动调功控温两种方式;

7) 工作区尺寸:φ1200×H2500mm(直径×高);

8) 装载量:<2T; 

9) 升温时间:6~8h(室温~1200℃);

10) 加热功率:300kw;

11) 控温精度:升温过程±2℃,保温过程±1℃;

12) 真空度:≤50Pa(配置4套H150滑阀泵);

13) 抽气时间:<50min(空炉冷态抽气达到50Pa)

14) 空炉冷态压缩率:≤66.7Pa/h

15) 可充气氛:氮气、烃类含碳气体;

16) 进气方式:顶部中间;

17) 充气流量:300L/min;

18) 连续工作时间:>300h;

19) 冷水流量:30m3/h; 冷水压力:0.15~0.25MPa。

20)设备占地空间:6000×6000×6000mm(长×宽×高)。

汉和工业感应加热CVD化学气相沉积炉接受非标定制。

感应加热CVD化学气相沉积炉

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